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叶裕德; 钱元皓; 吴华书; 汪达炜; 吴炆皜;
中国半导体行业协会;
半导体器件; 微机电系统; 硅材料; 加工工艺; 圆片级封装;
机译:使用微光机电系统可调谐微镜的双色测微辐射计进行非制冷红外检测
机译:基于InP的微光机电系统中的表面微加工技术
机译:表面微加工微光机电系统
机译:基于III-V半导体的微光机电系统的表面微加工悬臂
机译:基于多孔硅的微光机电系统(MOEMS)组件,用于自由空间光学互连。
机译:校正:ShenX.等。微光机电系统谐振陀螺仪的光盘敏感结构研究。微型机械201910264
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机译:微光机电系统(MOEMS)装置
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