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应用于太阳电池的氮化硅减反射特性研究

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摘要

提高太阳能电池表面的氮化硅薄膜材料的折射率是提高太阳能电池转换效率的有效途径。通过分析氮化硅薄膜材料的折射率与PECVD工艺条件的关系，研究了氮化硅薄膜材料的减反射特性。在优化的PECVD工艺条件下，制备出了高折射率的氮化硅薄膜材料，该材料用作太阳电池的减反射层将有效提高其转换效率.

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来源
《第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议》|2011年|210-212|共3页
会议地点三亚
作者
朱峰; 舒斌; 张鹤鸣; 王斌; 耿金文; 宋朝阳; 邸绍岩;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能电池;非金属导电材料、炭素材料;
关键词
太阳能电池; 氮化硅薄膜; 化学气相沉积; 减反射特性;

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