基于LTCC技术的射频多层垂直螺旋电感设计研究

摘要

本文对LTCC埋置电感的建模设计进行研究。利用HFSS对电感进行三维建模与仿真，利用ADS对等效电路进行拟合。设计出工作频率为2GHz，有效感值为4.7nH的垂直螺旋电感，该LTCC埋置电感最大Q值达到68.54。文中结合HFSS分析了垂直螺旋电感的结构参数变化对电感性能的影响。