硅电容压力传感器及其产业化

摘要

文章论述了硅电容压力传感器的特点、硅电容压力传感器的设计、制备工艺。剖析了变送器用压力传感器国内外现状。提出了自主研发的传感器应实现产业化，指出了硅电容压力传感器要实现产业化的条件和方法。