平行板法测量高温超导材料表面特性研究

摘要

高温超导薄膜制备技术的不断提高使其应用日益广泛,作为其主要的微波特性参数—表面电阻的精确测量因此显得尤为重要.本文设计分析了一种工作在0～6GHz内嵌平行板谐振器的矩形腔测量系统,给出其几何结构设计方案.在预设观察模式和频点下确定腔体尺寸,采用电磁模拟分析的方法,在腔体谐振背景下识别平行板谐振器模式,在此基础上可通过品质因数,求解获得表面电阻Rs.