晶化温度和浆料浓度对0-3法制备PZT厚膜应力的影响研究

摘要

PbZr0.52Ti0.48O3 (PZT)压电厚膜作为一种重要的换能材料,不仅要具有良好的压电性能还要有较低的膜层应力.但目前有关PZT厚膜应力分析的研究很少.论文采用0-3法制备了PZT厚膜,并研究了晶化温度和浆料浓度对所制备PZT厚膜应力大小的影响.结果表明:PZT厚膜应力为100-1000Mpa左右的张应力；随着晶化温度的升高,PZT厚膜的热应力逐渐增大,晶化温度从600℃升至700℃应力增加约3.5倍;随着浆料粉体浓度的增大,PZT厚膜的应力变小,浓度从1∶4.5升至1∶3.5时应力约减小7倍.采用有限元方法对PZT厚膜的应力与晶化温度间的关系进行了模拟,模拟结果与实验结果相一致.