纳米声学及近场声成像技术

摘要

纳米声学是近年来迅速发展的新的学科领域，旨在亚微米和纳米尺度上来“听到”和“看到”我们尚未发现的物质世界。而近场声成像技术，像扫描探针声显微术(Scanning ProbeAcoustic Microscopy,SPAM)和压电响应力显微术(Piezoresponce Force Microscopy,PFM)等，不仅具有亚微米和纳米分辨力，而且能方便地对试样微区的表面形貌，材料的力学和电学等性质进行成像，是开展纳米声学研究的有效手段。文章结合实验结果，对SPAM和PFM等近场声成像技术作了简要介绍。