真空器件用玻璃——可伐管状封接工艺研究

摘要

玻璃--的浸润的一种管状匹配封接,因其良好的气密性及较高封接强度,在真空器件的科研及生产中有较广泛的使用.本文将真空器件玻璃--可伐管状封接气泡产生原因归纳为三类.结合大量工艺试验和相关资料,逐一对应提出了具体的分析及解决措施.通过三维数字显微镜对比改进前后的封接效果,证明以上措施可以有效避免真空器件用玻璃--可伐封接汽泡问题的产生,进一步保障了真空器件的科研生产工作.