金属铀表面非平衡磁控溅射CrNx薄膜的XPS分析与腐蚀性能

摘要

金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀。为改善基体的抗腐蚀性能,采用非平衡磁控溅射离子镀技术在金属铀表面制备CrNx薄膜。采用X射线衍射和X射线光电子能谱研究了薄膜表面的物相结构和元素成分分布,采用极化曲线研究了薄膜的抗腐蚀性能。试验结果表明,CrNx薄膜具有较好的致密性和抗腐蚀性能。当氮分压较小时,生成的薄膜为Cr+CrN+Cr2N混合相。在金属铀表面制备一层CrNx薄膜后,其腐蚀电位增大了约465mV,腐蚀电流密度明显降低,有效改善了贫铀表面的抗腐蚀性能。