步进式压电作动器的结构设计

摘要

为了将压电作动器用于光学领域,本文设计了一种利用压电叠堆作为为驱动元件的作动器,研究了压电叠堆作动器的步进特性.文章首先说明了作动器的放大效应是基于三角放大原理,后通过ANSYS的APDL语言实现了对原三角结构尺寸的优化,用激光干涉仪测得作动器的放大倍数可以到达7,并且通过加载阶梯电压,验证了其步进精度可达22纳米,可以很好地实现纳米级的定位和工作,为该款作动器在高精度显微镜上的应用打下了基础.