大型多晶硅还原炉的工艺运行控制

摘要

目前国内外主流多晶硅生产装备大致分为12对、18对、24对和36对棒还原炉等,而24对棒和36对棒等大型还原炉是新建多晶硅企业优先考虑采用的装备,对节能降耗、降低成本有着重要意义.本文对比介绍了各类还原炉装备的优缺点,并根据大型多晶硅还原炉的实际运行情况,对系统原理以及运行中的置换过程、炉筒光洁度、物料汽化以及综合参数调整等工艺运行控制要点进行了介绍,为大型还原炉的工艺运行控制实践提供借鉴和指导.