轮廓形状测量系统的主要误差评定方法

摘要

高精度轮廓形状测量系统广泛用于球面、非球面光学元件面形轮廓等的精密测量。为准确评定其主要误差来源,在阐述接触式轮廓形状测量系统原理和结构的基础上,以ISO测量不确定度表示指南为依据,研究了具有代表性的高精度轮廓形状测量系统的各项误差,详细分析了误差来源与大小。结果表明,在200 mm测量范围内计算得到合成标准不确定度约为0.05μm。