气相色谱负压进样分析磷烷中的杂质

摘要

主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法,一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、 O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3.并验证方法的可行性.