溶液法制备碳纳米管薄膜分析

摘要

随着下一代有源矩阵有机发光二极管显示屏逐步量产,溶液法有望替代现有热蒸镀工艺,从而提升器件良率并且降低半导体材料消耗.而薄膜的形成过程受系统流变学控制,对器件性能影响显著.本研究尝试了不同的成膜方法以及不同的基板表面分区实验,观测了薄膜质量,对比了器件开关性能,结果表明:采用传统宏观实验手段较难精确控制薄膜形成过程,由此导致器件半导体开关率分布区间较大,迫切需要引入系统流变学对成膜过程进行量化分析.