曝光机多轴控制系统研制

摘要

针对目前国内曝光机控制系统存在曝光速度慢,精度不高,稳定性弱等问题,研究曝光机多轴控制系统,结合机器视觉技术、多轴运动控制技术、嵌入式软件技术等,通过四路CCD准确地检测出PCB和曝光菲林的贴合精度,同时设计多通道运动控制系统和光纤环路通讯主从站,实现对多达17个伺服步进轴的通讯和控制;采用Linux系统和RTAI系统内核相结合,提高控制系统的实时性.测试结果表明,系统工作稳定,能实现高速高精度的PCB曝光控制.