前级系统对复合分子泵入口流量影响研究

摘要

前级泵和复合分子泵在气路中串联起来就形成了一个直排大气的抽气系统.在复合分子泵入口通入定量工艺气体时,前级泵抽速、极限压力和前级管路内径都影响着复合分子泵轴系上的压力分布,进而限制了工艺气体的通入量.本文旨在通过实验测试和分析归纳的方法,在某型号仪器用复合分子泵的基础上,确定入口流量与前级泵抽速、极限压力和前级管路内径的关系.针对不同前级泵抽速、极限压力和前级管路内径,在复合分子泵入口通入工艺气体时,测试得到了多组复合分子泵轴系结构中不同位置的压力数据,确定了压力的变化规律,最后还利用线性关系拟合出了入口流量和前级压力的关系式.