基于分子泵的高真空系统计算算法

摘要

高真空系统设计中抽气时间的计算和真空泵的配置是两个比较关键的考虑因素,在真空系统腔室固定的条件下,抽气时间的长短快慢主要取决于真空泵的配置.本文以分子泵真空系统为基础,对两个问题进行论述:一是已知真空系统配置的前提下计算抽气时间,二是尚未确定真空系统的前提下根据时间要求来推荐真空系统配置.因为,真空系统抽气时间的计算和配置的推荐通常需要花费工程师较长的时间,同时还需要有一定的理论和实践经验,为提高效率,设计了专业的计算软件来模拟上述过程,并通过实际设备对算法的合理性和准确性进行了验证.