超高频薄膜磁微电感研究与技术分析

摘要

电子产品体积的小型化和功能的多样化给电源管理模块带来了巨大的挑战.本文简要介绍了电子产品用电源管理模块的主要特点.重点介绍和分析了对于实现片上电源(Power Supply on Chip,PwrSoC)系统至关重要的薄膜磁微电感技术在国内外的研究现状,包括薄膜材料,加工工艺和电感结构等.最后,对薄膜磁微电感技术的发展趋势和主要挑战进行了简单的总结.