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射频磁控溅射制备SrTiO3薄膜研究性物理实验

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研究性物理实验在物理专业高年级本科生教学中对于培养学生科研意识,提高学生创新能力发挥着重要作用.本文研究性物理实验内容包括制备SrTiO3薄膜并利用XRD、SEM-EDX表征薄膜的结构取向、表面形貌.并结合实验分析了研究性物理实验的作用.

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来源
《第七届全国高等学校物理实验教学研讨会》|2012年|403-406|共4页
会议地点成都
作者
WANG Qi; 王旗; WANG Shuai; 王帅; LOU Xiao-yan; 娄晓燕; HU Guang-xing; 胡广兴; ZHU Pan-pan; 朱盼盼; ZHANG De-an; 张德安;
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作者单位

中国高等学校实验物理教学研究会;

教育部高等学校物理学与天文学教学指导委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类实验;
关键词
高等教育; 研究性物理实验; 教学管理; 钛酸锶薄膜; 射频磁控溅射;
入库时间 2022-08-17 10:57:11

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