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吴春姬; 刘刚;
中国航空航天工具协会;
中国航天学会;
激光干涉仪; 数控机床; 定位精度; 检测技术; 误差修正;
机译:使用激光干涉仪动态校准机床和坐标测量机的定位精度
机译:双光束激光干涉仪在精密机床标定中的应用
机译:ML10金标准激光干涉仪在三坐标测量机和机床的测量和校准中的应用
机译:基于激光干涉仪的定位精度检测和补偿
机译:通过使用UF激光干涉仪模拟器的天基重力波干涉仪通过延时干涉仪减轻激光噪声。
机译:使用正交检测的亚皮秒级分辨率的脉冲激光干涉仪
机译:基于激光干涉仪的机床精度测量系统分析加工中心的定位精度
机译:精密机床的激光干涉仪位置反馈
机译:用于检查机床定位精度的测量仪器,具有十字格栅板,可检测机床的两个自由度,并且可调节以独立于机床的运动轴检测第三自由度
机译:干涉仪,用于检测气体绝缘高压开关设备中金属颗粒的电场产生的振动-将激光束馈入Mach = Zehnder干涉仪的传感和参考光纤分支中,在合路分压器和控制环路的输出处具有两个光电检测器,用于将检测器电压之间的差归零
机译:高分辨率共焦Fabry-Perot干涉仪,用于光刻应用中准分子激光的绝对光谱参数检测
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