飞秒激光烧蚀石英玻璃的实验和理论研究

摘要

本文实验研究了800nm飞秒激光作用下石英玻璃的破坏机制和烧蚀规律,给出了破坏阙值与脉冲宽度的关系。发展了雪崩击穿模型,理论计算了材料的烧蚀阈值与脉冲宽度的依赖关系,烧蚀深度、烧蚀体积与脉冲能量的依赖关系,研究了导带电子的扩散对材料中激光能量的沉积、分布、材料的破坏阂值和烧蚀规律的影响。