椭圆偏振法实验的系统误差分析

摘要

椭圆偏振法测量厚度和折射率具有测量范围宽、精度高、非破坏性等优点.本文对基于WJZ型多功能激光椭圆偏振仪PCSA光路布局的椭偏测厚装置所产生的系统误差做粗浅的分析,为消除或减小仪器的系统误差从而提高测量结果的准确度提供了理论依据为以后大学物理实验提供教学参考.

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