基板玻璃内部缺陷检测系统构造、原理及问题分析

摘要

目前彩虹G6液晶基板玻璃生产线使用德国Dr.Schenk(申克)公司制造的CSB1600型检查机,此检查机所配备的检测系统能够检测玻璃基板的熔解缺陷、Pac数量、研磨质量等主要基板缺陷.此检测系统主要包括:面检检测系统、PAC检测系统和边检检测系统.其中面检系统主要是针对玻璃基板中的溶解缺陷进行检测,面检系统中主要包括面检机与复检机两大部分,面检机具有缺陷的变形量检测能力,并能够分辨缺陷的种类,而复检主要有缺陷的再分类与层面位置确认的功能.本文主要对面检机与复检机的构造和检测原理进行概述,并结合检测原理对使用过程中出现的问题进行原因分析.