化学机械抛光超薄SUS304不锈钢抛光液研究

摘要

柔性显示已成为下一代显示技术的研究热点,不锈钢材料将成为柔性大尺寸显示器衬底的主要材料之一,而化学机械抛光(CMP)技术将是实现不锈钢材料表面超光滑、无损伤、最实用加工技术之一.采用正交实验,研究了pH值、磨粒粒径、分散剂、氧化剂、磨粒含量、缓蚀剂对材料去除率和表面粗糙度的影响,得到了不同目标要求的抛光液基本成分配比,为进一步研究不锈钢化学机械抛光液提供参考.