一种低使用成本的高精度曝光和测量技术

摘要

随着AMOLED技术的发展,显示器件对TFT电路制造精度的要求越来越高,面对G6这样的大尺寸玻璃基板,本文提出了一种使用小尺寸MASK(光罩)进行高精度曝光技术,不仅能够实现1.5um分辨率,更是实现了几乎可以忽略的MASK成本.同时,以曝光控制技术为基础,本文还提出了一种快速进行TP/OL/CD精确测量的技术,更少的单点测量时间消耗也同样实现了一倍以上的测量成本节省.更低的使用成本代表了国产设备的重要发展方向,它也将为提高国产屏幕的性价比提供支持.