室温下基于氧化钯的电阻型CO传感器研发

摘要

对于室温气体传感器的研发,无疑将进一步拓展气体传感器的应用领域,降低器件的能耗,简化传感器的制作工艺.基于金属氧化物的半导体气体传感器是现今应用最广泛的气敏材料.本研究采用氧化钯为气敏材料,在25～100°C温度范围内,检测了传感器在不同CO浓度和氧气环境下的电阻响应,研究氧化钯与CO气敏反应机理.此外,通过X射线光电子能谱(XPS)分析氧化钯在室温下CO气氛中的化学稳定性.实验结果表明,氧化钯在室温下对CO具有良好的气敏性能,氧化钯对CO具有长期稳定性.最后,本研究检测了氧化钯对有机气体的气敏选择性.