石墨烯折角可控场发射的研究

摘要

本文采用光刻，电感耦合等离子体刻蚀及湿法刻蚀等微加工工艺得到硅棱结构，硅棱顶部通过氧化削尖，并最终制作一层氧化绝缘层。然后转移上石墨烯并制作左右电极。类比真空三极管，左右电极分别称为阴极(cathode)和栅极(gate)。