微传感器的发展及其应用

摘要

介绍了微传感器近年来的发展和应用的情况,重点讨论了微传感器,特别是微加速度传感器、微压力传感器和微角速度传感器在国内外的研究情况,最后提出了微传感器发展要注意的问题。