平面场致发射阴极电子枪的设计

摘要

本文提出了一种新型的场致发射电子枪结构，并且利用电磁仿真软件CST Particle Studio，通过时域有限差分法模拟计算了在不同的参数下，该结构的电场分布与电子轨迹，考察了不同参数下该结构对电子轨迹汇聚效果的影响。其中包括:场发射电子枪的阴极与栅极和阳极的间距、栅极的高度、栅极电压、阴极电压和阳极电压等。同时，该电子枪中的栅极结构具有自会聚功能，可以使得电子在发射过程中产生会聚效应，不用再增加会聚电极就能达到汇聚效果，从而解决了阴极的电子束能量散射较大的问题，从而可以获得更高分辨率。