CMOS型硅基发光器件的研究进展

摘要

硅基发光器件的研究是全硅光电集成的关键性问题，而CMOS型Si-LED是和VLSI工艺完全兼容的新型硅发光器件，有着广阔的前景。本文简述了硅基LED的发展，说明了CMOS型硅基LED的特点的发光机理，着重阐述了两种典型的与CMOS工艺完全兼容的硅基LED，并总结了各种硅基发光技术的特点，展望了CMOS型硅基LED的应用前景。