超声磁流变复合抛光回转非球面插补算法研究

摘要

超声磁流变复合抛光技术是针对具有小曲率半径的凹曲面或自由曲面光学元件的超精密抛光加工提出的新方法。设计开发了具有五轴四联动的超声磁流变复合抛光装置，针对该装置，结合超声磁流变复合抛光技术的特点，对回转对称非球面的数控插补算法进行了研究，阐述了该算法的实现过程，并给出了仿真结果。利用该插补算法在该装置上对光学玻璃K9进行了抛光加工实验，得实验结果表明这种抛光方法是一种高效的超光滑表明加工方法，可以稳定地获得表明粗糙度小于1nm的K9玻璃表面。