快速热处理对电沉积CIGS预置层薄膜结构的影响

摘要

电沉积铜铟镓硒(ClGS)是一种低成本非真空制备薄膜太阳电池的方法，受到极大的关注。本文对从CuCl2、Incl3、GaCl3及H2SeO3所组成的酸性水溶液体系中，在Mo/玻璃衬底上电沉积得到的接近化学计量比的CIGS预置层进行了后处理，研究了升降温速率对薄膜结晶质量的影响。采用XRD、SEM对薄膜结构与形貌进行了观察和分析，并将其制备成电池测试其电学性能。结果表明，快速热处理(RTP)与普通的硒化处理相比，薄膜的结晶结构、表面形貌均有明显改善，同时对器件的电学性能也得到了显著的提高，制备出了效率达到8.8％CIGS薄膜电池。