飞秒激光加工光学器件研究进展

摘要

飞秒激光加工光学器件具有加工工艺简单、方法灵活、精度高以及能够实现三维微加工等优点,已成为光学器件先进加工技术的研究热点之一。回顾了飞秒激光与物质相互作用机理的研究进展,包括介质对激光的非线性吸收和材料折射率变化机理;介绍了当前用于光学器件加工的飞秒激光系统及纵向扫描和横向扫描两种加工模式,并分析其优缺点;详细阐述了飞秒激光加工各种光学器件所取得的成果。