MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验研究

摘要

本文介绍了MEMS Low-g加速度传感器测试系统的试验装置,对试验装置的各个组成部分进行了介绍，阐述了测试加速度传感器灵敏度、加速度线性度和零点漂移的测量和计算方法，以自主研发的倾斜传感器作为试验对象,进行了试验测试,并给出了试验结果。