磁控溅射不同成分比CrMoN涂层性能研究

摘要

在不同Mo靶偏流下采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrMoN涂层,通过XRD、EDX、显微硬度、划痕和磨损试验综合分析涂层相结构和的表面性能。实验结果表明,不同工艺下的CrMoN涂层表面光滑、致密,(Cr,Mo)N在(111)晶面呈强烈的衍射峰。涂层与基体均具有良好的界面结合。Cr12MoV经PVD处理后,表面承载能力和耐磨性得到了明显的提高。当Mo含量为22.8%时,CrMoN涂层显示出最好的综合性能。