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基于体绘制技术的虚拟光刻系统建模与实现

摘要

本文提出了基于体绘制技术的虚拟光刻系统.该系统支持BMP格式掩膜图形输入,拥有完整的衍射和驻波模型。与其他光刻模拟器相比,本系统最大的特点是实现了仿真结果的三维可视化,并支持旋转、剖切等交互式操作,使用户能够更好地观察光刻胶内部结构.

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