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应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响

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摘要

本文运用四周固支薄板小挠度理论,分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性.给出了小挠度下,在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式,并分析了残余应力对二者的影响.研究表明,对存在较大残余应力的硅薄膜,总应力和机械灵敏度主要由残余应力决定,其中机械灵敏度较忽略残余应力时的值减小三个数量级.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1852-1854|共3页
会议地点南京
作者
宋义超; 徐晨; 赵林林; 李博; 沈光地;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜中的力学效应;
关键词
微电子机械系统; 薄膜; 机械灵敏度; 残余应力;

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