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纳米电子膜热加工可拓控制技术

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摘要

本文首次提出在电子膜制作工艺上采用可拓控制技术,解决了电子元件的标准化和一致性问题.研究表明,可拓控制理论和技术在热平衡问题上具有较大的应用前景,在高温物化反应中不确定性指标的微小突变会产生电子性能指标的较大差异,这一难点可通过可拓控制技术得到解决.

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来源
《第二十四届中国控制会议》|2005年|1747-1751|共5页
会议地点广州
作者
何平;
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作者单位

中国自动化学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
可拓性; 可拓控制; 可拓定映; 关联序; 纳米电子膜;

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