低频微幅振动的主动控制策略

摘要

为了满足微电子工业中的振动敏感设备对微幅低频振动的控制提出的更高的要求,主动振动控制技术通常是必须的.该文就此提出了基于位移型压电作动器的前馈控制和反馈控制两种控制策略,并对它们的实现问题进行了分析.分析表明,由于现有传感器的限制,前馈控制适合0.2Hz以上振动的隔离,而对于0.2Hz以下的振动,可采用加速度反馈控制.为节约成本,一种由廉价地震检波器改造而成的容性加速度传感器可被考虑.文中对基于现实考虑的控制方案进行了仿真,并对前馈控制进行了成功的实验.