首页> 中文会议>第十一届全国实验力学学术会议 >光学读出的MEMS非制冷红外成像技术

光学读出的MEMS非制冷红外成像技术

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文采用了谱平面刀口滤波方法,将双材料(SiNx/Au)微梁阵列接收热像后的转角变形转化为像平面上微梁阵列的像所对应的光强变化,并设计制作了无基底单层膜结构微梁阵列(100×100pixels,微梁尺寸200×200μm2,厚2μm).用该阵列在光学读出系统中,获得了室温下人体的热图像.该系统在室温时(300K)噪声等效温度差(NETD)达到0.2K.

著录项

来源
《第十一届全国实验力学学术会议》|2005年|997-1002|共6页
会议地点大连
作者
郭哲颖; 张青川; 陈大鹏; 伍小平; 董凤良; 缪正宇; 熊志铭; 李超波;
展开▼
作者单位

中国力学学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外线摄影、紫外线摄影;
关键词
微悬臂梁; 非制冷; 红外成像; 光学读出;
入库时间 2022-08-17 11:28:45

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 双材料微梁阵列非制冷红外成像技术——微梁阵列热变形的光学读出 [J] . 郭哲颖 ,段志辉 ,张青川 . 实验力学 . 2005,第B12期
2. 基于光学读出非制冷红外成像系统的无基底FPA等效电学模型 [J] . 张勇 ,程腾 ,张青川 . 红外与毫米波学报 . 2013,第005期
3. 光学读出非制冷红外成像的最新进展 [J] . 董凤良 ,焦斌斌 ,张青川 . 实验力学 . 2007,第3期
4. 基于MEMS技术的光学读出红外成像系统 [J] . 赵捷 ,吴文捷 ,孔凡武 . 微纳电子技术 . 2008,第1期
5. 基于MEMS工艺微悬臂梁阵列光学读出红外成像研究现状 [J] . 史海涛 ,欧毅 ,陈大鹏 . 电子工业专用设备 . 2007,第001期
6. 双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列热变形的光学读出 [C] . 郭哲颖 ,段志辉 ,张青川 . 2004年实验力学在国防科研领域的应用研讨会 . 2004
7. 基于MEMS技术的光学读出非制冷红外成像系统研究 [A] . 程腾 . 2010

光学读出的MEMS非制冷红外成像技术

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅