一种新型超大压力传感器的研制

摘要

镱材料具有压阻特性,其压阻系数比锰铜、碳等压阻材料要高得多.利用这一特性设计制作了箔式镱大压力传感器,并介绍了其工作原理,设计制作中的关键要点,以及在工艺上需解决的关键问题.

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