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李东; 王艳林; 刘桂礼;
中国兵工学会;
石英晶片; 寄生谐振频率; π网络; 频率谐振点;
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机译:石英(SOQ)晶片上的单晶硅通过超低温(100℃)晶片键合和减薄方法
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