用于微光学元件制作的溶胶-凝胶复合材料

摘要

本文提出一种sol-gel光记录复合材料.利用此光记录材料,只需曝光、显影即可直接制作复合材料微结构元件.另外,由于有机无机sol-gel元件制作是利用此材料中侧链可聚合基团的光引发聚合,因此,光照过程中,光聚合的收缩作用必然对掩摸图形的真实传递带来巨大的影响.这种特性将直接影响显影过程中浮雕深度的加大及过渡区的展宽.