在线检测设备精度评定中相关分析方法的建立与实践

摘要

对在线检测设备的评定,尤其是其中的多参数综合测量机(仪)的精度评定,一直是个既棘手,但又极为企业关注、迫切要求解决的问题.本文剖析了现有的几种方法,进而提出了以数理统计中的相关分析作为客观评价精度的依据,再通过数据处理和修正、补偿的方法,真实地复现被检在线测量设备的精度状况.