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六自由度微型工作台相关运动的控制模型

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六自由度微动工作台为纳米三坐标测量机的重要部件,用于实现工件的精密定位和空间综合误差的硬件修正.本文简介了微动工作台微型化的设计思路,给出了工作台结构示意图;通过分析各驱动杆长度变化与工作台各自由度微动的关系,建立了工作台六自由度相关运动控制的数学模型.

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来源
《2003年全国单片机及嵌入式系统学术年会》|2003年|886-890|共5页
会议地点北京
作者
魏玉凤; 余晓芬;
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作者单位

中国计算机学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP273.5;
关键词
六自由度; 微动工作台; 纳米测量;

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