新型室温红外探测器原理与制作

摘要

为实现在中远波段既能室温工作又具有高探测性能的红外探测,提出了直接红外吸收气压传感的红外探测机理,并利用微机械(MEMS)加工技术和半导体工艺结合的方法进行研制.通过微密闭腔内红外敏感气体吸收红外辐射、气压传感微检测结构和特殊的双腔结构实现了室温下对8-14μm等波段红外辐射灵敏而快速地测量,通过选择不同的红外吸收气体可实现不同波段的测量,使室温红外探测实现了波段选择性.