新型室温红外探测器的微电容快速测试系统

摘要

新型室温红外探测器对8～14 μm红外辐射具有快速灵敏的响应,设计出用于该探测器的微电容测试系统,能够快速灵敏地将探测器输出的电容信号通过C-f、f-V变换电路转换为电压信号,然后由A/D转换电路变为数字信号后传到PC机进行信号处理.给出了硬件电路的实现方法,其采样频率为10 kHz,电容信号的分辨率为10 fF.这种测试方法也适用于其他微小电容式传感器的快速检测.