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基于Intel 8254的准分子激光外触发器的研究

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本文介绍了一种利用可编程8254定时器/计数器,在微机上实现准分子激光微加工过程激光外触发控制的新方法.针对准分子激光的光刻直写技术的需求特点对所使用的分频器,以及8254的组合工作方式进行了研究.并在实际应用中对此外触发器的优势进行了分析.由此方法制作的准分子激光外触发控制器具有性能可靠,结构简单,可编程控制等特点.

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来源
《第十届全国光电技术与系统学术会议》|2003年|1189-1193|共5页
会议地点长沙
作者
殷伯华; 张瑜; 陈涛;
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作者单位

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类激光技术、微波激射技术;光能加工设备及其加工;
关键词
准分子激光; 光刻直写; 可编程计数器; 定时器; 微加工; 激光外触发器;

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