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统计技术在集成电路生产中应用

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本文扼要介绍统计过程控制在集成电路生产中应用,对理论的经验和控制图做了比较,详细介绍了层别法和散布图相结合研究改善IC生产工艺,减少产品某些特性的离散率应用工作.

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来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|529-532|共4页
会议地点昆明
作者
林发永; 刘志弘; 刘爱华; 张伟; 郭英姿; 仲涛; 付玉霞; 鲁勇; 夏苏;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类可靠性及例行试验;
关键词
集成电路; 生产工艺; 统计技术; 控制图;

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