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PIN二极管探测器的光电参数—量子效率的比对测量

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光谱响应度和量子效率是光电探测器的重要参数.在研制大面积PIN二极管光电探测器过程中,需要及时测试,以调整工艺.对比对法测量探测器的量子效率是有一种实用有效的方法.本文介绍了PIN光探测器量子效率的测试方法及结果.

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来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|566-570|共5页
会议地点昆明
作者
张太平; 张洁天; 宁宝俊; 张录; 田大宇; 袁坚; 张维; 刘诗美; 马连荣; 孟宪馨;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类磁性半导体、磁阻半导体;
关键词
PIN二极管; 探测器; 光电参数; 量子效率; 测量方法; 比对法;
入库时间 2022-08-17 11:18:06

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